


Spezifikationen
Ansaugflansch / Einlass | DN 160 CF (8") |
Auslassflansch / Auslass | DN 25 ISO-KF (NW25) |
Kühlmethode | Luftkühlung (Konvektionskühlung) Luftkühlung (Zwangskühlung - Ventilator) Wasserkühlung |
Netzspannung | Gleichstrom 48V |
Nennleistung gesamt | 600.00 |
Saugvermögen Luft Stickstoff (@50Hz oder max @Standardeinstellung) | 0.680 |
Enddruck | 1.000 × 10⁻⁸ |
TURBOVAC 850 i - DN 160 CF UHV (Anybus)
Varianten
Erkunden Sie die unten aufgeführten Varianten und vergleichen Sie das Produkt
Produktname | Materialnummer | TMP Modellvariante |
---|---|---|
840071V1000 | TURBOVAC i - frontend 1 (Basisvariante) | |
840071V2000 | TURBOVAC i - Frontend 2 (Anybus/Feldbus-Erweiterung) | |
840071V3000 | TURBOVAC iX - Xtention Box Steuerung | |
840071V3300 | TURBOVAC iX - Xtention Box Steuerung | |
840072V1000 | TURBOVAC i IND - Industrieversion - Frontend 1 (Basis) | |
840073V1000 | TURBOVAC i(X) UHV - Ultrahochvakuum-Version - Frontend 1 (Basis) | |
840073V2000 | TURBOVAC i(X) UHV - Ultrahochvakuum-Version - Frontend 2 (Anybus/Feldbus-Erweiterung) | |
840081V1000 | TURBOVAC i - frontend 1 (Basisvariante) | |
840081V2000 | TURBOVAC i - Frontend 2 (Anybus/Feldbus-Erweiterung) | |
840081V3000 | TURBOVAC iX - Xtention Box Steuerung | |
840081V3300 | TURBOVAC iX - Xtention Box Steuerung | |
840083V1000 | TURBOVAC i(X) UHV - Ultrahochvakuum-Version - Frontend 1 (Basis) | |
840083V2000 | TURBOVAC i(X) UHV - Ultrahochvakuum-Version - Frontend 2 (Anybus/Feldbus-Erweiterung) |
TURBOVAC i/iX
Die TURBOVAC i ist eine bewährte Turbomolekularpumpenplattform mit einer Leistung von 90 bis 1450 l/s. Die TURBOVAC i ist mit der neuesten Hybridlager-Konstruktion ausgestattet, die ein oberes Permanentmagnetlager mit einem ölfreien unteren mechanischen Lager kombiniert, das die saubersten Hochvakuumbedingungen bietet.
Mit der TURBOVAC i bieten wir Varianten für UHV (Ultra High Vacuum), Durchsatz IND (Industrial) sowie iR (Radiation Robust) Varianten mit abgesetzter Elektronik. Die TURBOVAC i-Pumpen sind mit einer kompakten Schnittstelle erhältlich, die die Steuerung von bis zu zwei Zubehörteilen, eine einfache RS485-, USB- und DIGITAL I/O-Steuerung ermöglicht. Die TURBOVAC i-Serie bietet außerdem das gesamte Spektrum der Feldbusunterstützung. Der universelle Anschluss "Anybus" ermöglicht die Kommunikation über Profibus, Ethernet IP, ProfiNET sowie EtherCAT über wählbare Module.
TURBOVAC iX bietet auch die Anybus-Schnittstelle, die Möglichkeit, Ihre Vorvakuumpumpe und bis zu 6 Zubehörteile zu steuern, eine Messgeräteschnittstelle, die die Pumpe zu einer vollständigen Vakuumsteuerungslösung macht. Neben Pumpen mit einem Einlass bieten wir eine Vielzahl von Pumpen mit mehreren Einlässen, Cartridge-Pumpen und kundenspezifische Produkte über unser kundenorientiertes Engineering-Team an - bitte sprechen Sie mit unseren Vertriebsteams.
TURBOVAC i-Pumpen werden in der Regel als Einzelgeräte geliefert - das passende Netzteil, Kommunikations-/Stromkabel und Kühloptionen müssen separat bestellt werden. TURBOVAC 1350, 1450 und die Varianten 850, 950 IND sind immer bereits mit einem Wasserkühlblock ausgestattet.
TURBOVAC 850 i - DN 160 CF UHV (Anybus)
UHV-Varianten bieten höchste Kompression für leichte Gase, um niedrigste Enddrücke auch mit einfachen Vorpumpen zu gewährleisten. Sie kann in jeder Lage betrieben werden. Dieses Produkt wird ohne zusätzliche Kühlvorrichtung geliefert - ein Luftkühler oder ein Wasserkühlblock müssen separat bestellt werden. Als elektronische Schnittstelle verfügt dieses Produkt über die moderne Anybus-Schnittstelle. Schnittstellenkarten (Fieldbus, Serial Bus) sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Features and Benefits
- Überlegene Leistung - hohes Saugvermögen für leichte Gase kombiniert mit höchster Kompression
- Provides class leading light gas compression leading to lowest ultimate pressure of < 1e-10 mbar
General Product Information
Zubehör / Lieferumfang | TURBOVAC i-Pumpen werden einzeln geliefert - das passende Netzteil, Kommunikations-/Stromkabel und Kühloptionen müssen separat bestellt werden. IND Industrievarianten sind mit einer Wasser-Kühleinheit ausgestattet und nur für Wasserkühlung geeignet. |
Kühlwasseranschluss |
6x1 mm flexibler Schlauch Schnellkupplung
1/8" BSPP (G) Innengewinde |
Auslassflansch / Auslass | DN 25 ISO-KF (NW25) |
Ansaugflansch / Einlass | DN 160 CF (8") |
Kühlmethode |
Luftkühlung (Konvektionskühlung)
Luftkühlung (Zwangskühlung - Ventilator) Wasserkühlung |
Höhe | 0.292 |
Länge | 0.266 |
Breite | 0.241 |
IP Schutzklasse |
IP40
IP54 |
Netzfrequenz | Gleichspannung |
Netzspannung | Gleichstrom 48V |
Gewicht | 19.70 |
Abmessungsbemerkungen | Die Abmessungen Länge, Breite und Höhe versuchen, die äußere Form dieses speziellen Produkts in seiner typischen Orientierung im Stand auf dem Boden zu beschreiben. Wir empfehlen stets, die detaillierten Abmessungen in den 2D-Zeichnungen im Handbuch oder die 3D-Formen in den 3D-Modellen zu überprüfen. |
Verbindungs-Einlass/Auslass-Flansch | DN 160 CF (8") / DN 25 ISO-KF (NW25) |
ProductCertification |
CE
UL CSA |
connectionPurgeGasBallastVentConnector |
1/8" BSPP (oder G 1/8") Innengewinde
1/8" BSPP (oder G 1/8") Innengewinde |
Environmental Conditions
Temperatur Umgebung im Betrieb Max | 40.00 |
Temperatur Umgebung Lagerung Max | 70.00 |
Temperatur Umgebung im Betrieb Min | 5.00 |
Temperatur Umgebung Lagerung Min | -15.00 |
Maximaler Magnetfeldtoleranz (für die ungünstigste Richtung - für weitere Einzelheiten wenden Sie sich bitte an uns) | 9.000 × 10⁻³ T |
Classification
Klassifikation trockene oder nasse Pumpe | Trocken |
Klassifikation Produkt Druckbereich |
Hochvakuum - 1*10-3 - 1*10-7 mbar
Ultrahochvakuum - 1*10-7 - 1*10-11 mbar |
Klassifikation Hoch Mittel Grob-Vakuumpumpe | Hochvakuumpumpe |
Klassifikation Vakuumpumpen-Technologie | Turbomolekularpumpe - Hybridlager ölfrei |
Performance Data
Kompressionsverhältnis Luft Stickstoff | 1.000 × 10¹³ |
Kompressionsverhältnis Helium | 5.000 × 10⁹ |
Kompressionsverhältnis Wasserstoff | 3.000 × 10⁸ |
Nennleistung gesamt | 600.00 |
Enddruck | 1.000 × 10⁻⁸ |
Saugvermögen Luft Stickstoff (@50Hz oder max @Standardeinstellung) | 0.680 |
Saugvermögen Argon | 0.610 |
Saugvermögen Helium | 0.790 |
Saugvermögen Wasserstoff | 0.710 |
Hochlaufzeit | 150.00 |
Nenndrehzahl | 820.00 |
Kommentar zur Ermittlung der Leistungsdaten | The compression of a TMP is a value describing how good the design can compress a gas type at special conditions. Compression data is measured only using the CF flange variants. The values are stated for all family members. For some pump classes we are stating different pumping speeds ISO > CF flange as small differences in geometry influence their performance leading to a difference >5%. |
Max. Gasdurchsatz Luft Stickstoff | 0.400 |
Max. Gasdurchsatz Helium | 0.700 |
Max. Gasdurchsatz Wasserstoff | 1.70 |
Max. Gasdurchsatz Argon | 0.260 |
Druck Vorvakuum max. | 1200.00 |
Kompressionsverhältnis Argon | 1.000 × 10¹³ |
Connectivity - Communication Interface
Kommunikationsschnittstellen Protokoll | USS Universelles serielles Schnittstellen-Protokoll |
Kommunikationsschnittstelle Kunde |
ANYBUS-Buchse (IP54 ready) für alle Module
REMOTE X1 (Parallel I/O) USB |
Anschluss elektrische Kommunikationsschnittstelle |
ANYBUS-Buchse (IP54 geeignet) für alle Module
DSUB HD 15-PIN - Buchse (hohe Dichte) USB Typ B - Buchse |
Variants
Installation | Beliebige Ausrichtung |
TMP Modellvariante | TURBOVAC i(X) UHV - Ultrahochvakuum-Version - Frontend 2 (Anybus/Feldbus-Erweiterung) |
Operation Conditions - Limitations
Minimale Kühlwassermenge | 1.667 × 10⁻⁵ |
Kühlwassertemperatur max | 35.00 |
Kühlwassertemperatur min | 15.00 |
Maximale Kühlwassermenge | 3.000 × 10⁻⁵ |
Kühlwasserdruckbereich - minimal und maximal |
4.000 × 10⁵
4.000 × 10⁵ |
- 301019041_002_Instructions.pdf - English - Instructions
- 300855170_002_Instructions.pdf - English - Instructions
- 3610-0041-02-TURBOVACi.pdf - English - Sales Material
- 3610 0041 02_TURBOVACi_HR.pdf - English - Sales Material
- Elevator_Pitch_Turbovac_EN_DE_Leybold_160817.pdf - English, German - Sales Material
- Elevator_Pitch_TurbovacIX_EN_DE_Leybold_160817.pdf - English, German - Sales Material
- 301019041_003_Instructions.pdf - French - Instructions
- 300855170_003_Instructions.pdf - French - Instructions
- 301019041_001_Instructions.pdf - German - Instructions
- 300855170_001_Instructions.pdf - German - Instructions
- 300855170_004_Instructions.pdf - Italian - Instructions
- 300855170_012_Instructions.pdf - Japanese - Instructions
- 300855170_014_Instructions.pdf - Korean - Instructions
- 300855170_011_Instructions.pdf - Simplified Chinese - Instructions
- 300855170_026_Instructions.pdf - Traditional Chinese - Instructions