Les jauges capacitives à membrane CERAVAC CTR et les capteurs de pression DI/DU de Leybold assurent une mesure directe de la pression lorsque des relevés précis et indépendants du gaz sont requis dans les niveaux de vide primaire et de vide moyen. La gamme comprend les modèles standards CTR 100, les variantes chauffées CTR 101, les capteurs DI/DU et d’autres versions, couvrant des pressions allant de la pression atmosphérique jusqu’aux faibles niveaux en Torr.
Les jauges CERAVAC CTR mesurent la pression grâce à la déflexion d’une membrane par rapport à une référence scellée, garantissant ainsi une grande précision et une excellente stabilité. Les capteurs DI/DU prennent également en charge les fonctions de surveillance et de contrôle des procédés. Correctement adaptés au niveau de mesure requis, ces instruments contribuent à réduire les variations de procédé et à maintenir des conditions de fonctionnement stables dans les secteurs des semi-conducteurs, du dépôt de couches, de l’analyse et de la recherche.